成都超純應用材料有限責任公司（UPAM)成立于2005年，位于中國成都雙流航空港開(kāi)發(fā)區，研發(fā)及廠(chǎng)房超過(guò)一萬(wàn)平方米，是一家以技術(shù)為先導的半導體刻蝕器件，高功率激光器件和特種陶瓷的國家高新技術(shù)制造企業(yè)。成都超純具有自主知識產(chǎn)權，開(kāi)發(fā)了多類(lèi)高技術(shù)，包括先進(jìn)表面處理技術(shù)，可為半導體刻蝕器件和MOCVD器件提供專(zhuān)業(yè)的表面處理服務(wù)；UPMS 先進(jìn)提純技術(shù)，可將材料的純度提純到5N以上；UPHP 先進(jìn)陶瓷生產(chǎn)技術(shù)， 制造高密度碳化物和氮化物陶瓷； 同時(shí)公司針對不同基底材料開(kāi)發(fā)了一整套超光滑表面處理技術(shù)UPUS 來(lái)控制表面疵病，提高器件的使用壽命。
在研發(fā)實(shí)驗的過(guò)程中，前期準備、后期清洗和實(shí)驗結果的準確需要超純水來(lái)支持，于是成都超純應用材料有限責任公司聯(lián)系到我司四川卓越水處理設備有限公司（新公司四川卓水越醫療科技有限公司），咨詢(xún)超純水設備相關(guān)問(wèn)題。
中國電子級超純水水質(zhì)標準
表 1 電子級水的技術(shù)指標GB/T11446. 1— 2013
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項 目 |
技術(shù)指標 |
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EW-Ⅰ |
EW-Ⅱ |
EW-Ⅲ |
EW-Ⅳ |
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電阻率(25℃)/MΩ · cm |
≥18 (5%時(shí)間不低于 17) |
≥15 (5%時(shí)間不低于 13) |
≥12. 0 |
≥0. 5 |
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全硅/(μg/L) |
≤2 |
≤10 |
≤50 |
≤1000 |
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微粒數/ (個(gè)/L) |
0. 05μm~0. 1 μm |
500 |
— |
— |
— |
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0. 1 μm~0. 2 μm |
300 |
— |
— |
— |
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0. 2 μm~0. 3 μm |
50 |
— |
— |
— |
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0. 3 μm~0. 5 μm |
20 |
— |
— |
— |
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> 0. 5 μm |
4 |
— |
— |
— |
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細菌個(gè)數/(個(gè)/mL) |
≤0. 01 |
≤0. 1 |
≤10 |
≤100 |
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銅/(μg/L) |
≤0. 2 |
≤1 |
≤2 |
≤500 |
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鋅/(μg/L) |
≤0. 2 |
≤1 |
≤5 |
≤500 |
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鎳/(μg/L) |
≤0. 1 |
≤1 |
≤2 |
≤500 |
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鈉/(μg/L) |
≤0. 5 |
≤2 |
≤5 |
≤1000 |
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鉀/(μg/L) |
≤0. 5 |
≤2 |
≤5 |
≤500 |
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鐵/(μg/L) |
≤0. 1 |
— |
— |
— |
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鉛/(μg/L) |
≤0. 1 |
— |
— |
— |
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氟/(μg/L) |
≤1 |
— |
— |
— |
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氯/(μg/L) |
≤1 |
≤1 |
≤10 |
≤1000 |
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亞硝酸根/(μg/L) |
≤1 |
— |
— |
— |
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溴/(μg/L) |
≤1 |
— |
— |
— |
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硝酸根/(μg/L) |
≤1 |
≤1 |
≤5 |
≤500 |
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磷酸根/(μg/L) |
≤1 |
≤1 |
≤5 |
≤500 |
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硫酸根/(μg/L) |
≤1 |
≤1 |
≤5 |
≤500 |
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總有機碳/(μg/L) |
≤20 |
≤100 |
≤200 |
≤1000 |
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四川卓越EDI超純水設備介紹
一、四川卓越EDI超純水設備特點(diǎn)
1、不需要酸堿再生,電除鹽的操作是安全的，廢水的處理變得簡(jiǎn)單了。
2、可連續生產(chǎn),電除鹽的生產(chǎn)是連續的，免除了使用混床過(guò)程中復雜的再生操作，減少了很多備用設備。
3、不需要處理廢酸堿,沒(méi)有廢酸堿的中和排放處理系統。電除鹽的濃水可以直接排放或返回到RO的進(jìn)口。
4、安裝條件簡(jiǎn)單,電除鹽在安裝時(shí)，占地面積小，廠(chǎng)房都能滿(mǎn)足，對于較低的廠(chǎng)房，可通過(guò)對電除鹽模塊的水平配置解決。
5、系統設計簡(jiǎn)單,電除鹽的模塊設計很容易把它的流量做到450噸/小時(shí)甚至更高。
6、運行成本低,電除鹽系統與各種混床相比，在價(jià)格上有競爭性。
7、實(shí)用的設計,對于電除鹽系統，不管是維修還是增減設備的容量都是很容易的。必須要更換膜堆時(shí)，在現場(chǎng)只要花極少的停機時(shí)間就可以完成。
8、安裝維修簡(jiǎn)便,電除鹽裝置允許通過(guò)對其他膜堆的流量重新分配而達到對某一個(gè)膜堆維修的要求，不改變系統的性能。
9、水質(zhì)穩定,電除鹽的出水質(zhì)量穩定有把握。不會(huì )有普通混床那樣的水質(zhì)變化。
10、標準設計：利用標準單元，如同搭積木般的組合 可以滿(mǎn)足用戶(hù)不同產(chǎn)水量的需要。
二、EDI超純水設備工藝流程
加藥系統
↓
預處理系統→反滲透系統→脫氣系統→EDI系統→供水系統
三、EDI超純水設備工藝說(shuō)明
※ 預處理系統由原水箱、原水泵、機械過(guò)濾器、活性碳過(guò)濾器、軟化器、保安過(guò)濾器或原水箱、原 水泵、機械過(guò)濾器、保安過(guò)濾器、超濾組成；
※ 反滲透系統由高壓泵、反滲透膜組件及膜殼組成，分為一級和二級；
※ 脫氣系統由脫氣膜、自吸泵組成；
※ ED系統由中間水箱、淡水泵、EDI膜塊、直流電源組成；
※ 加藥系統由ST絮凝劑或阻垢劑、PH調節劑組成；
※供水系統由純水箱、供水泵組成。
EDI是一種將電滲析和離子交換相互結合在一起的除鹽新工藝，該工藝過(guò)程取電滲析和離子交換兩者之長(cháng)，彌補對方之短，即利用離子交換能深度脫鹽來(lái)克服電滲析極化而脫鹽不徹底，又利用電滲析極化而發(fā)生水電離產(chǎn)生H+和OH-離子實(shí)現樹(shù)脂自再生來(lái)克服樹(shù)脂失效后通過(guò)化學(xué)藥劑再生的缺陷，因而EDI技術(shù)是一種完美的除鹽工藝。
四、EDI 超純水設備進(jìn)水要求:
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項 目 |
技 術(shù) 要 求 |
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給 水 |
RO產(chǎn)水, 電導率≤20μs/cm ( 建議<10μs/cm ) |
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PH值 |
6.0 ~ 9.0 ( 建議7.0 ~ 9.0 ) |
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水 溫 |
5 ~ 35℃ |
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硬 度(以CaCO3計) |
< 0.5 ppm |
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有機物 |
< 0.5 ppm ，TOC建議值為零 |
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氧化物 |
≤0.05 ppm (Cl2) , 0.02ppm (O3),兩者為零最優(yōu) |
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Fe 、Mn |
≤0.0１ ppm |
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二氧化硅 |
< 0.5 ppm |
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二氧化碳 |
< 5 ppm |
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油和油脂 |
檢不出 |
油和油脂 檢不出
超純水系統設備主要應用領(lǐng)域為
醫藥、電子電力、石油化工冶煉、食品等行業(yè)
EDI技術(shù)特點(diǎn)：
★可連續生產(chǎn)，產(chǎn)水電阻率高≥ 15 MΩ.cm
★產(chǎn)水率可以高達95%
★產(chǎn)水水質(zhì)穩定。不需要配酸堿再生
★無(wú)污水產(chǎn)生。
★ 系統控制自動(dòng)化程度高，操作簡(jiǎn)單，勞動(dòng)強度低。
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