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項目 |
電子級超純水 |
普通超純水 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 |
電子行業(yè)和半導(dǎo)體行業(yè) |
實驗室分析、工業(yè)生產(chǎn)或工業(yè)清洗 |
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滿足國家標(biāo)準(zhǔn) |
GB/T11446.1-2013電子級水國家標(biāo)準(zhǔn) |
GBT6682-2008分析實驗室用水國家標(biāo)準(zhǔn)和GBT33087-2016儀器分析用高純水規(guī)格及試驗方法 |
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電子級EW-I和超純水I級 |
電阻率≥18MΩ.cm（5%的時間不低于17） |
電阻率≥10MΩ.cm |
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電子級EW-II和超純水II級 |
電阻率≥15MΩ.cm（5%的時間不低于13） |
電阻率1-10MΩ.cm之間 |
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全硅（ug/L） |
電子級I級≤2ppb 電子級I級≤10ppb |
I級≤10ppb II級≤20ppb |
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微顆粒（個/L） |
電子級I級:對各種粒徑具有要求，如?0.2-0.3μm≤50個/L,?0.3-0.5μm≤20個/L，?0.5μm以上≤4個/L |
不做具體要求 |
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細(xì)菌個數(shù)（個/ml） |
電子級I級≤0.01個 電子級II級≤0.1個 |
視不同用途，不同的要求，符合客戶需求即可 |
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金屬離子含量（ppb） |
電子級I級：對（銅、鋅、鎳、鈉、鉀、鐵、鉛）都有具體的要求，且要求極高，需要控制到≤0.1ppb或0.5ppb |
超純水I級：只有鈉離子≤1ppb有要求，其他無具體要求 |
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非金屬離子含量（ppb） |
電子級I級：對（氟、氯、亞硝酸根、溴、硝酸根、磷酸根、硫酸根）都有具體的要求，需要控制到≤1ppb |
超純水I級：僅對氯離子有要求需要控制到≤1ppb |
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TOC值 |
電子級I級≤20ppb 電子級I級≤100ppb |
超純水I級≤50ppb |
說明：綜上所述，電子級超純水I級對微顆粒、TOC值、細(xì)菌要求極高，因此對電子級超純水設(shè)備的管道要求極高一般需要采用CLear-PVC或者PVDF材質(zhì)，以及需要配專門的降TOC的消解器
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