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安寧集成電路超純水系統

發(fā)布時(shí)間:2016/6/22

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電子級超純水系統概述

當今半導體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線(xiàn)路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業(yè)、大規模、超大規模集成電路需要大量的純水、超純水清洗成品、半成品。集成電路的集成度越高,線(xiàn)寬越窄,對水質(zhì)的要求也越高。目前我國電子工業(yè)部把電子級超純水為四個(gè)等級,分別為EW-I級≥18MΩ·cm,全硅≤2ug/L、EW-II級≥15MΩ·cm,全硅≤10ug/L,EW-III級≥12MΩ·cm,全硅≤50ug/L、EW級≥0.5MΩ·cm,全硅≤100ug/L 以區分不同的電子級超純水水質(zhì)。其中對于超純水關(guān)鍵的指標如:電導率(電阻率)、總硅、PH值、顆粒度、微生物等均由不同的要求。因此線(xiàn)路板、電路板使用純水、超純水因為本身工藝流程的不同對超純水制造的工藝也不同。


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1、預處理系統→反滲透系統→中間水箱→粗混合床→精混合床→純水箱→純水泵→紫外線(xiàn) 器→拋光混床→精密過(guò)濾器→用水點(diǎn)(≥18MΩ.CM)

2、預處理系統→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純化水箱→純水泵→紫外線(xiàn) 器→拋光混床→0.2或0.5μm精密過(guò)濾器→用水點(diǎn)(≥18MΩ.CM)

3、預處理系統→一級反滲透→加藥機(PH調節)→中間水箱→第二級反滲透(正電荷反滲膜)→純水箱→純水泵→EDI裝置→紫外線(xiàn) 器→0.2或0.5μm精密過(guò)濾器→用水點(diǎn)(≥17MΩ.CM)

4、預處理系統→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純水箱→純水泵→紫外線(xiàn) 器→0.2或0.5μm精密過(guò)濾器→用水點(diǎn)(≥15MΩ.CM)

5、預處理系統→反滲透系統→中間水箱→純水泵→粗混合床→精混合床→紫外線(xiàn) 器→精密過(guò)濾器→用水點(diǎn) (≥15MΩ.CM)

電子半導體超純水系統通常直接接入國家自來(lái)水標準的水為源水,通常有多介質(zhì)過(guò)濾器,活性炭過(guò)濾器,精密過(guò)濾器等構成預處理系統,另有RO反滲透主機系統,離子交換混床(EDI電除鹽系統)系統等構成主要設備系統。系統水箱設有液位控制系統、水泵設有高低壓壓力保護裝置、在線(xiàn)水質(zhì)檢測控制儀表、電氣采用模塊化組合PLC,及通信遠程輸送至中控室上位機,實(shí)現現場(chǎng)就地和集中控制兩種操作方式,降低了人工的操作復雜度和維護工作量等,同時(shí)在工藝選材上采用推薦和客戶(hù)要求相統一的方法,或者公司可按照客戶(hù)對于水質(zhì)的要求進(jìn)行特殊定制,既能 用水水質(zhì)達標,同時(shí)降低了所需成本,使該設備與其他同類(lèi)產(chǎn)品相比較,具有更高的性?xún)r(jià)比和設備可靠性。


電子級超純水系統用水標準:

符合美國ASTM純水水質(zhì)標準、電子工業(yè)部高純水水質(zhì)試行標準、美國半導體工業(yè)用純水指標、日本集成電路水質(zhì)標準、國內外大規模集成電路水質(zhì)標準



電子級超純水系統選型表:

 

產(chǎn)水量

L/H)

電壓/功率范圍

V / Kw)

設備主機尺寸

(L*W*H mm)

水箱

產(chǎn)水水質(zhì)

ZYUP-DH/E-250L

250

380 / 1.95

2000*800*1600

氮封水箱

符合國家電子級用水標準

ZYUP-DH/E-500L

500

380 / 2.05

2000*800*1600

氮封水箱

ZYUP-DH/E-1000L

1000

380 / 2.20

2000*800*1600

氮封水箱

ZYUP-DH/E-1500L

1500

380 / 2.80

2500*1000*1700

氮封水箱

ZYUP-DH/E-2000L

2000

380 / 3.96

2500*1000*1700

氮封水箱

ZYUP-DH/E-3000L

3000

380 / 6.65

3000*1200*1800

氮封水箱

ZYUP-DH/E-4000L

4000

380 / 6.80

3000*1200*1800

氮封水箱

ZYUP-DH/E-5000L

5000

380 /11.05

3500*1300*2000

氮封水箱

注:1、設備尺寸僅供參考,可根據用戶(hù)需求進(jìn)行量身定做;

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1、電解電容器生產(chǎn)鋁箔及工作件的清洗

2、電子管生產(chǎn)、電子管陰極涂敷碳酸鹽配液

3、顯像管和陰極射線(xiàn)管生產(chǎn)、配料用純水

4、黑白顯像管熒光屏生產(chǎn)、玻殼清洗、沉淀、濕潤、洗膜、管頸清洗用純水

5、液晶顯示器的生產(chǎn)、屏面需用純水清洗和用純水配液

6、晶體管生產(chǎn)中主要用于清洗硅片,另有少量用于藥液配制

7、集成電路生產(chǎn)中高純水清洗硅片

8、半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路

9、LCD液晶顯示屏、PDP等離子顯示屏

10、高品質(zhì)顯像管、螢光粉生產(chǎn)

11、半導體材料、晶元材料生產(chǎn)、加工、清洗

12、超純材料和超純化學(xué)試劑、超純化工材料

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